晶硅電池隱裂檢PECVD鍍膜檢測模塊
主要用于硅片來料隱性裂紋等缺陷的檢測
檢測工位: 鍍膜段
檢測內(nèi)容: 色差、色斑、亮斑、臟污、過刻、油污、卡點(diǎn)燒焦、劃傷、崩邊、缺角、針孔、尺寸、白斑、手指印等